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턴키 방법을 사용하여 세계에서 가장 크고 가장 진보 된 반도체 메가 슬롯 중 하나 만들기

Elpida 메모리는 일본의 유일한 DRAM (컴퓨터 기본 메모리에 사용되는 반도체 메모리 요소) 제조업체입니다. 2004 년 히로시마 메가 슬롯으로 계획된 새로운 메가 슬롯은 세계에서 가장 큰 메가 슬롯 중 하나였으며, 운영 될 때 월 60,000 대 이상의 DRAM 생산 능력을 자랑합니다.

매우 엄격한 메가 슬롯 기간 외에도 메가 슬롯이 시작된 후 9 개월 후 생산 장비를 전달할 수 있도록 고객의 설계 변경 요청에 유연하게 대응하여 반도체 업계의 일일 진화 상황을 반영합니다. . 그것은 가야했고, 메가 슬롯이 시작될 때가 아니라 세계에서 가장 진보 된 공장으로 운영 할 수 있어야했습니다.

고객이 제시 한 OBR (기본 요구 사항)을 기반으로 메가 슬롯 팀과 메가 슬롯 부서는 2001 년에 철저한 일정 및 메가 슬롯 계획을 만들기 위해 협력하여 DRAM 설계 및 메가 슬롯 경험을 활용할 수있었습니다. 같은 사이트의 공장. 기둥이없는 공장을 매우 유연하고 넓은 공간으로 만들기 위해서는 마이크로 진동과 싸우기위한 조치를 고려하기 위해서는 어려운 설계 요구 사항이었습니다.

메가 슬롯에서 중요한 문제 중 하나는 기존 공장에서의 생산에 영향을 미치지 않는 것이 었습니다. 기존 공장 불편 영역에서메가 슬롯가 설치되었고, 주파수 분석이 실시간으로 수행되었으며, 허용 가능한 세트 포인트 (알람 및 경고)가 초과되면 작업자가 회전 조명과 버저 등으로 경고하여 작업 환경을 개선했습니다. 또한이 장치는 기술을 사용하여 정상적인 진동과 구조 진동을 구별하고 잘못된 경보를 줄입니다.

건축 기간을 단축하기 위해 외부 구조와 병렬로 인테리어슬롯 머신그러나 먼지가 들어가는 것을 방지하기 위해, 우리는 4 단계를 취함으로써 클린 룸 내부의 청소 수준을 점차적으로 증가시키는 프로토콜 관리 (단계별 메가 슬롯 관리)를 수행했습니다. 또한 건축 자재에서 소량으로 방출되는 화학 물질 (Outgassing)의 문제는 Technology Research Institute에서 확인한 재료를 사용하여 해결되었습니다.